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半导体工艺
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半导体工艺侦测

wafer涂胶在线实时侦测系统

涂胶工艺后对胶厚均匀性、缺陷存在性（如气泡、杂质、划痕、涂胶不全等）进行快速、非接触、高精度检测。



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